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wafer晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)：厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數(shù)據(jù)測量
2025-05-23 晶圓是半導(dǎo)體制造的核心基材，所有集成電路（IC）均構(gòu)建于晶圓之上，其質(zhì)量直接決定芯片性能、功耗和可靠性，是摩爾定律持續(xù)推進的物質(zhì)基礎(chǔ)。其中晶圓的厚度（THK）、翹曲度（Warp）和彎曲度（Bow）是直接影響工藝穩(wěn)定性和芯片良率的關(guān)鍵參數(shù)：1、厚度（THK）是工藝兼容性的基礎(chǔ)，需通過精密切割與研磨實現(xiàn)全局均勻性。2、翹曲度（Warp）反映晶圓整體應(yīng)力分布，直接影響光刻和工藝穩(wěn)定性，需通過退火優(yōu)化和應(yīng)力平衡技術(shù)控制。3、彎曲度（Bow）源于材料與工藝的對稱性缺陷，對多層堆疊和封裝...掃描電鏡：打開微觀世界的“超維相機“，科學(xué)家如何用它破解納米謎題？
2025-05-23 當你用手機拍攝一朵花的微距照片時，放大100倍已足夠驚艷。但如果告訴你，科學(xué)家手中的"相機"能將物體放大百萬倍，連病毒表面的蛋白突觸都清晰可見，你是否會好奇這背后的黑科技？這把打開微觀宇宙的鑰匙，正是掃描電子顯微鏡（SEM）。SEM的"超能力"從何而來？傳統(tǒng)顯微鏡受限于可見光波長，放大極限止步于200納米。而掃描電鏡利用高能電子束作為"探針"，通過電磁透鏡操控電子軌跡，突破衍射極限，分辨率可達1納米以下。CEM3000掃描電鏡桌面化設(shè)計讓實驗室“去中心化”。其70000倍成像...精度不夠？PLR3000光纖激光尺：0.2ppm誤差解鎖微米級制造
2025-05-23 當“精度焦慮”成為制造業(yè)的隱形門檻：在半導(dǎo)體光刻中，1nm偏差可能導(dǎo)致整片晶圓報廢；在精密機床加工中，熱變形讓傳統(tǒng)測量工具“失靈”……“高精度、高穩(wěn)定、抗干擾”——工業(yè)超精密制造的三大痛點，如何破局？PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測量原理，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，同時具有安裝快捷，易于準直等特點，在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。核心優(yōu)勢1、高精度分辨率10nm（可拓展），線...三坐標測量機技術(shù)解析：原理、構(gòu)造與應(yīng)用進展
2025-05-22 三坐標測量機（CMM）是一種高精度的新型精密測量儀器，其工作原理基于直角坐標系。測量時，將被測零件置于測量空間，通過三個相互垂直的X、Y、Z運動軸，測頭精確采集零件表面各點的坐標值。這些坐標數(shù)據(jù)經(jīng)計算機處理后，可擬合出圓、球、圓柱等幾何元素，進而計算出形狀、位置公差等參數(shù)。在構(gòu)造方面，三坐標測量機通常由測頭系統(tǒng)、電氣驅(qū)動系統(tǒng)、花崗巖臺面、三軸導(dǎo)軌等部件組成。測頭系統(tǒng)包含探頭、探針等，負責(zé)精確采集數(shù)據(jù)；電氣驅(qū)動系統(tǒng)則通過電機、皮帶等部件實現(xiàn)測頭的精確移動。不同結(jié)構(gòu)形式的三坐標測...關(guān)注公眾號，了解最新動態(tài)
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三坐標測量儀