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中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。是以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)的光學(xué)測量儀器。

中圖儀器SuperViewW1三維光學(xué)表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，還具有測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量，非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件。特別對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而準(zhǔn)確的得到理想的測量結(jié)果。

中圖儀器光學(xué)表面3d輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器，用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

?SJ5700接觸式輪廓測量儀可測量各種精密機(jī)械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)，廣泛應(yīng)用于機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金、光學(xué)加工等行業(yè)。儀器依據(jù)GB/T 19600-2004、GB/T3505-2009、GB/T6062-2009、GB/T10610-2009、JJF1105-2003等國家標(biāo)準(zhǔn)及ISO5436、ISO11562國際標(biāo)準(zhǔn)制造。

SJ5700表面輪廓測量儀可測圓弧半徑、直線度、凸度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。還可對各種零件表面的粗糙度進(jìn)行測試；可對平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進(jìn)行測試，并實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)測量。